1ナノメートルは、髪の毛1本の8万分の1の長さだ。この1ナノメートル未満の長さを、サブナノメートルと呼ぶ。国防科学技術大学の精密工学イノベーションチームはこのほど、2種類の高精度研磨装置を開発し、超精密光学部品加工技術における精度を更新し、サブナノ精度を達成した。同技術はこれまでに、「大規模集積回路の製造設備と関連技術」など、3件の国家重大科学技術特別プロジェクトに利用されており、3年間の直接的な経済効果は2億元あまりに達している。科技日報が伝えた。
超精密加工とは、高精度を目標とする最先端の製造技術であり、ナノ精度は超精密加工技術の重要資産とされている。西側先進国はこれを戦略資源とみなし、輸出を厳しく制限しているため、中国の光学部品製造は苦境に陥った。
これを受け、国防科学技術大学・李聖怡教授率いる精密工学イノベーションチームは第3世代の光学加工技術に狙いを定め、国内初の知的財産権を有する2種類の高精度研磨装置（磁気粘性流体とイオンビーム）を開発、中国光学部品加工界で「サブナノ精度」という奇跡を打ち立てた。これらの装置はこのほど、プロジェクト検収に合格した。
これにより、中国は米国・ドイツに続き、高精度光学部品製造加工技術を掌握した3番目の国となった。磁気粘性流体とイオンビームの研磨装置の開発能力を同時に有する国は世界でも中国のみとなっている。