集積回路のハイエンド設備の国産化が、新たな一歩を踏み出した。清華控股有限公司が明らかにしたところによると、清華大学の科学技術成果を転化させた、中国初の12インチ化学機械研磨洗浄機が、このほど交付された。人民日報が伝えた。
化学機械研磨洗浄機は、化学腐蝕と機械の力を用い、加工中のウエハを滑らかにすることで、ナノメートル級の滑らかな表面を形成する。これは集積回路の製造技術の5大重要技術の一つだ。国家科技重大特別プロジェクト「特大規模集積回路平坦化技術・材料」の支援を受け、清華大学は中国初の12インチ銅製研磨洗浄機（ドライイン・ドライアウト方式）を開発した。その主な技術指標は、海外の最先端製品の水準に達するか、それを上回っている。