純度99.999999999%の電子級多結晶シリコンを量産化

2018年 6月8日

 純度99.999999999%の電子級多結晶シリコンの量産化をついに実現した。江蘇シン華半導体材料科技有限公司(シンは金が3つ)から6日に得た情報によると、一連の厳格な検証と検査を経て、このほど第1陣となる集積回路用高純度シリコン材料が韓国に輸出された。それと同時に、国内の一部ウエハ加工メーカーにも大量供給した。これは中国の半導体・集積回路用シリコン材料が世界一流品質・標準に達したことを意味する。中国の多結晶シリコン製造メーカーによる集積回路用高純度シリコン材料の輸出はこれが初めてとなる。科技日報が伝えた。
 電子級多結晶シリコンは集積回路の重要な基礎材料であり、中国市場はこれまで完全に輸入に依存していた。電子級多結晶シリコンは、純度が最も高い多結晶シリコン材料。太陽エネルギー級多結晶シリコンの純度は99.9999%だが、電子級多結晶シリコンの要求は99.999999999%に達する。電子級多結晶シリコン5000トンに含まれる不純物は、1元硬貨1枚分の重さ(約6グラム)に相当する。
 シン華半導体は2015年12月、国家集積回路産業投資基金と保利協シンからの共同出資を受け、国内初の5000トン半導体・集積回路専用電子級多結晶シリコン生産ラインを敷設した。保利協シン傘下のシン華半導体は昨年11月8日、正式に電子級多結晶シリコン製品を発表した。


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